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邁可諾技術有限公司

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機器人自動化技術結合對準曝光

閱讀:112 發布時間:2020/11/11

雙臂機器人可實現高精度閃電快速傳輸晶片,并結合預對準器,可檢測透明基板,不僅適用于硅片,還適用于多種化合物半導體材料。NXQ8000對準平臺采用了ZX的線性運動技術。借助編碼器反饋回路測量實際載物臺位置(而非電機位置),視覺系統不受硬件限制,允許對準精度小于0.5um 3 sigma。配備5倍物鏡的Quadcam顯微鏡,將放大倍率,視野和焦深完美結合。是微電子,LED,3D IC,MEMS,微流控,太陽能和光電應用的理想選擇。




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